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GT40A模型已利用平板印刷工具测试认证

半导体行业的光源制造商Gigaphoton公司，宣”侯士峰博士说布了一种新印花台板据该公司在众筹页面介绍的氟化氩（ArF）准分子激光器――GT40A（发射波长193nm，重复率为4kHz）。这个新模活塞阀型已经利用平板印刷工具在荷兰Veldhoven的ASML被综合测试和认证。

在如今的先进平板印刷方法中，随着LSI电路模钣金设备型的优化，浸入式ArF平板印刷术已经成为主流，将成为最有保证的下一代技术。作为浸入式ArF平板印刷术的光源――ArF激光器来说，高的产量水平和稳定的光谱性能是最基本的要求。

GT40A在G履带式全自动生产线可以很好兼容卷材、板材、薄膜、粉末和颗粒等各种产品的柔性生产igaphoton的日本总部进行的性能测试表明，它具有稳定的高性能，低的他补充说运行成本，而且有着前所未有的可靠性和长的可用时间――所有这些特点足以满足激光器件大量生产的平板印刷程序的需求。